Origin软件在“电容-电压法测半导体杂质浓度分布”实验中的应用

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资源作者:丁格曼
资源来源:华南师范大学
资源内容概述:使用Origin软件对“电容-电压法测半导体杂质浓度”的实验结果进行处理,详细介绍如何快速得到具有单边突变结性质的变容二极管的C-V曲线。

Origin软件在“电容-电压法测半导体杂质浓度分布”实验中的应用主要包含的内容:

基于电容-电压法(简称C-V 法)来测量半导体杂质浓度分布,简单快速且不破坏样品。为更快速、精确求得半导体杂质浓度分布,利用Origin软件绘出样品的C-V 曲线、1/C2-V曲线的线性拟合,快速求出杂质浓度、自建场及绘制相应的杂质浓度分布曲线。

半导体器件在设计和制造过程中,半导体内部的杂质浓度分布测量是半导体材料和器件的基本测量之一。用电容-电压法测量半导体杂质浓度的分布,适用于有一侧杂质浓度远低于另一侧的半导体(单边突变结),并且测量既简单快速又不破坏样品,是常用的测量方法之一。虽然该实验测量方法简单,但获取杂质浓度分布曲线的处理过程较复杂:先绘出C-V 曲线,再逐点做切线求出斜率,进而代入公式求对应的杂质浓度及结宽,最后绘制杂质浓度分布曲线。故只靠传统的手工制图,不仅费时、计算量大,而且实验误差较大。利用Origin 软件的数学分析及绘图等功能对实验数据进行处理,操作简便。

结论

使用Origin软件对“电容-电压法测半导体杂质浓度”的实验结果进行处理,详细介绍如何快速得到具有单边突变结性质的变容二极管的C -V曲线,1/C2 - V 曲线及低掺杂区杂质浓度分布曲线ND(l) 。使用Origin软件处理过程简便直观,尤其是其微分功能可以大大减小传统手工制图的计算量及误差。

参考文献

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